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            MEMS器件檢測電路和設備

            1015   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 09:00:04
            本實用新型涉及一種MEMS器件檢測電路和設備,所述電路包括控制電路、MEMS驅動電路、第一采樣電路和MEMS器件;所述控制電路的輸出端與所述MEMS驅動電路的輸入端連接,所述MEMS驅動電路的輸出端與所述第一采樣電路的輸入端連接,所述第一采樣電路的第一輸出端與所述MEMS器件連接,所述第一采樣電路的第二輸出端與所述控制電路連接;所述第一采樣電路用于在預設時間段內獲取采樣電壓,并將所述采樣電壓傳輸給所述控制電路;所述控制電路用于根據所述采樣電壓和所述控制電路輸出的驅動電壓,判斷MEMS器件是否失效。用此電路和方法檢測MEMS器件時,無需借助外部測試設備,檢測效率快;且此電路易于集成,成本較低,檢測精度高。
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            “MEMS器件檢測電路和設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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