本發明提供一種層疊MIM電容檢測結構,所述層疊MIM電容檢測結構包括第一電極及第二電極,所述層疊MIM電容檢測結構包括:第一MIM電容單元、第二MIM電容單元及二極管;所述第一MIM電容單元及所述第二MIM單元二者中任一者與所述二極管串聯以形成串聯結構,另一者與所述串聯結構并聯以形成并聯結構;所述并聯結構連接于所述第一電極與所述第二電極之間。通過在所述第一MIM電容單元或所述第二MIM電容單元上串聯所述二極管,可以簡便快捷地檢測出失效的MIM電容單元,大大節省了檢測時間,進而提高了檢測效率。
聲明:
“層疊MIM電容檢測結構及其檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)