本發明提供一種無塵車間內空氣分析方法及系統,在所述無塵車間內設置多個采樣點;在所述各采樣點處進行外氣采樣、及空氣進入所述過濾器的過濾出口之前和之后的采樣;對所采樣空氣樣本進行元素分析;對所述元素分析獲得的數據進行與標準數據的比對及監控,對監控發現的異常數據并進行管理改善和處理;本發明保證產線內空氣中SO4情況被管理,以預防因其超管理線而導致的產品信賴性失效。
聲明:
“無塵車間內空氣分析方法及系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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