本發明公開了一種分析類金剛石膜對飛行器液壓伺服作動器密封性能的方法,屬于飛行器液壓伺服作動器技術領域。申請人為了改善飛行器液壓伺服作動器密封性能的不足,在分析作動器失效的基礎上,通過大量實驗得到該方法,通過多功能離子束沉積系統制備若干含銀量不同的類金剛石膜,采用X射線衍射儀、能量色散譜儀、拉曼光譜、納米壓痕儀、三維白光干涉表面輪廓儀、高速往復式摩擦磨損實驗機,分析各種類金剛石膜樣品的微觀結構和力學性能變化,系統闡述碳價鍵及內應力的變化對薄膜力學性能的影響,填補了理論和實踐空白。
聲明:
“分析類金剛石膜對飛行器液壓伺服作動器密封性能的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)