本發明揭示了一種晶圓區域性問題的分析系統及方法。本發明提供的晶圓區域性問題的分析系統包括失效抓取模塊,抓取每個測試點的失效情況;失效模型模塊,具有設定的失效模型;失效模型匹配模塊,根據所抓取的每個測試點的失效情況,與所述失效模型進行匹配,當獲得匹配時,輸出對應的多個測試點的位置和失效代碼;待處理模塊,根據所述多個測試點的位置,獲得在所述多個測試點周圍區域測試通過的點的位置,列為有風險的測試點。本發明使得測試通過的點更穩定,避免功能性分析滯后,提高了良率。
聲明:
“晶圓區域性問題的分析系統及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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