本發明公開一種設計布局的失效風險的智能型預診斷系統及方法,本發明的方法是先取得一物體的一設計布局,再于設計布局上劃分出至少一布局區域,其中布局區域內具有一布局圖案,接著取得多個缺陷,并按照尺寸的大小順序將多個缺陷逐個與布局圖案的一預定部分進行比對,然后根據比對結果判斷布局區域的失效風險等級。本發明能快速且準確地預測在線隨機缺陷及系統缺陷等是否會在物體上造成錯誤并影響到物體的良率。
聲明:
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