本發明公開了一種金屬短路失效定位結構,包括:第一和第二金屬繞線結構;在短路失效檢測區域中,第一金屬繞線結構包括多條平行的連接成蛇形結構的第一金屬線段,第二金屬繞線結構包括多條電連接在一起的第三金屬線段,各第三金屬線段和對應第一金屬線段相鄰;第一金屬線段的首尾連接通過位于更高層的金屬層組成的第二金屬線段實現。第二金屬線段在電性確認過程中保留以及在失效定位過程中去除使第一金屬線段之間斷開連接,利用被動電壓襯度對比定位和第二金屬繞線結構短路的第一金屬線段。本發明還公開了一種金屬短路失效定位方法。本發明能完全定位到金屬短路的失效位置且能實現對nA級別的金屬短路失效位置進行定位。
聲明:
“金屬短路失效定位結構和方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)