本發明涉及功率器件的失效分析技術領域,是一種功率器件的失效定位方法。漏電流增大是功率器件失效的主要電學表現形式之一,會大幅度減小器件的使用壽命。本發明提供了一種功率器件的漏電流定位方法。方法包括:對失效功率器件樣本進行開封;將開封后的功率器件置于載物臺上;固定并調節紅外熱成像儀,使其顯示屏剛好容納芯片;對功率器件進行電壓偏置,找到熱點最清晰的偏置電壓;對功率器件施加恒定的上述偏置電壓,獲取該偏置電壓下的芯片表面熱像圖;將上述熱像圖與芯片物理結構圖疊加處理,以準確定位異常漏電流。該方法實施便捷,能精確捕捉熱點以及定位失效位置。
聲明:
“功率器件的失效定位方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)