一種樣品失效分析方法,包括:獲取樣品的二次電子圖像;從所述二次電子圖像中選出作為參照的基準子圖形,以及待分析子圖形;沿同一方向掃描基準子圖形和待分析子圖形的灰度,獲取基準子圖形和待分析子圖形的二次電子強度曲線;比較基準子圖形的二次電子強度曲線和待分析子圖形的二次電子強度曲線,確定待分析子圖形是否存在缺陷。用二次電子強度曲線表征二次電子圖像,即使有微小的缺陷,也可以通過二次電子強度表示出來;而且由于二次電子強度曲線對灰度變化比較敏感,即使金屬互連線以及栓塞由于使用低介電常數金屬而導致二次電子圖像的分辨率降低,也可以用二次電子強度曲線將二次電子圖像表示出來,二次電子強度曲線不會受分辨率變化的影響。
聲明:
“樣品失效分析方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)