本公開實施例公開了一種物理失效分析樣品及其制備方法,所述方法包括:提供待分析結構;其中,所述待分析結構包括相對設置的第一表面和第二表面,失效區域位于所述第一表面和所述第二表面之間;在所述待分析結構的第一表面形成凹槽;其中,所述凹槽包括第一側壁和第二側壁,所述第一側壁覆蓋所述失效區域;在所述第一側壁與所述失效區域之間的相對距離小于預設距離時,轟擊所述第二側壁的組成粒子;其中,被轟擊的至少部分所述組成粒子濺射至所述第一側壁,形成覆蓋所述失效區域的第一保護層。
聲明:
“物理失效分析樣品及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)