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2025中國礦物加工大會（CMPC）
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
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?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
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2025鉛鋅產業市場研討會
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失效分析去層方法

771 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 08:59:30

本發明提供一種失效分析去層方法，截取樣品并將其放入激光切割機，確定樣品的失效分析區域和目標位置；目標位置所在失效分析層為Mx；利用激光切割機制作環繞目標位置的多個溝槽；溝槽底部位于金屬層Mx+2層上或其以下深度的位置；環繞目標位置的多個溝槽相鄰彼此相互貫通，溝槽環繞目標位置的失效分析區域相對于樣品其他區域被劃分為基于失效分析的獨立區域；將樣品置于拋光機上，針對被溝槽環繞的失效分析區域進行去層研磨并利用光學顯微鏡觀察研磨位置，研磨至去除失效分析層Mx以上金屬層，并將失效分析上Mx中的目標位置暴露為止。本發明的失效分析去層方法在保證芯片去層精確性、有效性的同時縮短磨樣時間，增強效率。

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聲明：

“失效分析去層方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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失效分析

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報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:140

2 取、制樣安全淺析

下載:132

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:97

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:96

7 用于X熒光分析的樣品前處理及其

下載:93

8 礦產品人工取樣方案的制定及案例

下載:93

9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿

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10 制樣室裝修設計技巧

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