本發明公開了一種用于表面三維形貌測量的白光干涉系統,可對精密元器件提供無損、快速、高精度、電動的表面三維形貌測量。照明模塊對光進行準直整形,成像模塊將準直整形后的光分為物光和參考光,兩束光的反射光合束后干涉,條紋調整和掃描模塊調整參考鏡的偏轉姿態,在干涉條紋滿足掃描要求時進行掃描,成像模塊將干涉光放大成像后傳輸給處理模塊,處理模塊根據圖像重現被測樣品的表面三維形貌,被測樣品利用樣品夾持模塊固定且利用對焦模塊實現對焦,照明模塊、條紋調整和掃描模塊和成像模塊利用系統固定模塊固定,整個系統結構設計緊湊,具有體積小、便于集成、易于搬運、適合異地測試等優勢,且參考鏡的偏轉角度可以實現電動精確調節。
聲明:
“用于表面三維形貌測量的白光干涉系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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