<p id="xhh1v"><del id="xhh1v"></del></p><listing id="xhh1v"></listing>

<var id="xhh1v"></var>
<output id="xhh1v"></output>

        <ins id="xhh1v"><cite id="xhh1v"></cite></ins>
          <output id="xhh1v"><del id="xhh1v"><big id="xhh1v"></big></del></output>

          <dfn id="xhh1v"><form id="xhh1v"><output id="xhh1v"></output></form></dfn>

            合肥金星智控科技股份有限公司
            宣傳

            位置:中冶有色 >

            有色技術頻道 >

            > 無損檢測技術

            > 環柵器件制備的測試方法與系統

            環柵器件制備的測試方法與系統

            1025   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 08:58:33
            本發明提供了一種環柵器件制備的測試方法與系統,其中,將拉曼測試裝置引入到環柵器件制備的工藝環節,進而,能夠在生長外延層后、刻蝕鰭片后、源漏外延(且偽柵極被去除)、釋放犧牲層后、HKMG包裹溝道后、后等至少之一時間點對溝道對應位置的應力進行測試,在此基礎上,測試結果可反應出溝道對應位置應力隨制備工藝環節的變化。其中,由于拉曼測試裝置的測試光的光斑面積較小,進而,可在測試中表征出較小尺寸的結構應力,同時,該過程中,也不會對樣品表面產生損傷??梢?,本發明能夠在無損的情況下準確對各工藝環節下溝道對應位置的應力進行測試與表征,為制備工藝的進一步分析與改進提供準確、充分的依據。
            登錄解鎖全文
            聲明:
            “環柵器件制備的測試方法與系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
            我是此專利(論文)的發明人(作者)
            分享 0
                     
            舉報 0
            收藏 0
            反對 0
            點贊 0
            標簽:
            無損檢測
            全國熱門有色金屬技術推薦
            展開更多 +

             

            中冶有色技術平臺

            最新更新技術

            報名參會
            更多+

            報告下載

            赤泥綜合利用研究報告2025
            推廣

            熱門技術
            更多+

            衡水宏運壓濾機有限公司
            宣傳
            環磨科技控股(集團)有限公司
            宣傳

            發布

            在線客服

            公眾號

            電話

            頂部
            咨詢電話:
            010-88793500-807
            專利人/作者信息登記
            久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码

            <p id="xhh1v"><del id="xhh1v"></del></p><listing id="xhh1v"></listing>

            <var id="xhh1v"></var>
            <output id="xhh1v"></output>

                  <ins id="xhh1v"><cite id="xhh1v"></cite></ins>
                    <output id="xhh1v"><del id="xhh1v"><big id="xhh1v"></big></del></output>

                    <dfn id="xhh1v"><form id="xhh1v"><output id="xhh1v"></output></form></dfn>