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第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
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2025鉛鋅產業市場研討會
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現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
吸附劑的結構設計與性能調控
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薄膜厚度和折射率的光學測量方法及其裝置

1057 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 08:58:32

本發明公開了一種薄膜厚度和折射率的光學測量方法及其裝置。將寬帶光源出射的光通過干涉結構,產生干涉信號,再探測干涉信號的光譜信息,并將光譜信息進行傅立葉變換,即可得到產生干涉信號的二光路的光程差信息。在折射率已知的情況下,以同種方式在一個干涉臂中放置樣品后再測一次,比較這兩次光程差信息即可薄膜厚度。若折射率未知,需將薄膜旋轉一個角度,進行第三次測量來計算出獲得薄膜的折射率和厚度。本發明采用光學方法,對樣品是無損的,分辨率為微米量級,測量范圍可達到毫米量級。另外樣品不要求嚴格貼附在樣品臺上,同時信息處理方法簡單,對于透明或半透明薄膜可以方便實時地得到其厚度和折射率信息。

登錄解鎖全文

聲明：

“薄膜厚度和折射率的光學測量方法及其裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

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2 取、制樣安全淺析

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3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

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4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

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6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

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