本實用新型公開了一種硅片微裂紋檢測系統,包括激光控制器、轉動鏡控制器、激光源、反射鏡、轉動鏡、成像透鏡、線陣電荷耦合元件、推掃驅動裝置、計算機和載物臺,特點是激光源、反射鏡、轉動鏡、成像透鏡、線陣電荷耦合元件依次成光路連接;線陣電荷耦合元件的輸出信號電纜連接計算機;計算機連接激光控制器、轉動鏡控制器和推掃驅動裝置;推掃驅動裝置的步進電機通過滾珠絲杠連接載物臺;被測硅片置于載物臺上。本實用新型通過轉動鏡和推掃裝置的配合,實現對硅片的無接觸、無損傷地激光掃描,通過對獲取的紅外輻射圖像數據的智能處理和分析,即可以判斷硅片的完好性。
聲明:
“硅片微裂紋檢測系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)