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            高效檢測大面積微細電子器件的方法

            872   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 08:58:16
            本發明屬于電子器件檢測技術領域,公開了一種高效檢測大面積微細電子器件的方法。通過光源控制模塊A產生特定頻率的光束,通過分光干涉光學模塊B分為等頻率等相位的相干光,一束通過被測電子器件表面反射,另一束通過反射鏡反射,使兩束反射光產生干涉,測試過程被測電子器件通過樣品控制模塊C進行測試條件的控制,通過數據采集分析模塊D接收產生的干涉圖樣,并利用計算機軟件進行分析。本發明的方法可以對大面積電子器件的表面及界面處微小形變進行的非接觸式測量,具有高精度、全場、實時、無損檢測等優點。
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