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            > 利用電容變化檢測刻蝕側壁粗糙的方法

            利用電容變化檢測刻蝕側壁粗糙的方法

            1126   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 08:58:12
            本發明公開了一種利用電容變化檢測刻蝕側壁粗糙的方法,僅在功能區域進行刻蝕工藝前添加上述工藝流程,避免增加功能器件設計的復雜;利用檢測區域電容變化反應功能區域側壁粗糙,減小了小尺寸帶來的誤差,同時避免裂斷面等對器件結構有損害的操作,實現對刻蝕結構的無損檢測;檢測區域數目由功能區域刻蝕窗口大小種類決定,實現了更加精準地檢測不同條件下的刻蝕側壁粗糙目的,同時實現對不同刻蝕條件下側壁粗糙的一步檢測。本發明設計的工藝流程簡單,各工序均為成熟技術,工藝難度較低,實現簡便,易于操作。
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            “利用電容變化檢測刻蝕側壁粗糙的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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