本發明提供一種晶圓缺陷檢測方法及裝置,所述方法包括:采用X射線衍射形貌術對晶圓樣品進行第一次檢測,得到第一檢測結果;對晶圓樣品進行親水性處理,使晶圓樣品的表面具備親水性;對晶圓樣品進行金屬沾污處理,在晶圓樣品表面形成綴飾;對晶圓樣品進行熱處理;采用X射線衍射形貌術對晶圓樣品進行第二次檢測,得到第二檢測結果;將所述第一檢測結果和所述第二檢測結果進行比對,確定所述晶圓樣品的缺陷類型和缺陷分布位置。根據本發明實施例的檢測方法,可高效快速地檢測出晶圓可能存在的所有缺陷類型及分布區域,在確保檢測準確性的前提下,極大節省了檢測成本;并且采用無損檢測的方法,利于對晶圓進行重復檢測,保證檢測數據的可重復性。
聲明:
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