本發明提供一種電力供給恢復時能短時間無損傷地再啟動的氣體激光系統。該氣體激光系統具備:激光振蕩器,其包含在由于來自電源部的供給電力的下降而停止了動作后,在正常地開始動作之前需要預定的待機時間的設備;控制裝置,其控制激光振蕩器;電力下降檢測部;以及非易失性存儲部,其存儲通過電力下降檢測部檢測出供給電力下降的第一時刻的時刻數據??刂蒲b置根據從通過非易失性存儲部中存儲的時刻數據而得到的第一時刻到輸出下一次的系統啟動指令的第二時刻的時間,計算設備的動作停止時間,當該動作停止時間超過預定的待機時間時,允許設備的動作重新開始,在動作停止時間在預定的待機時間以內時,禁止設備的動作重新開始。
聲明:
“電力供給恢復時能短時間無損傷地再啟動的氣體激光系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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