本發明涉及一種激光無損檢測薄膜特性的優化參數確定方法,包括:利用有限元軟件ANSYS,建立薄膜襯底結構的雙層有限元模型;通過設置單脈沖分段函數在所建模型上實現對短脈沖激光激發超聲表面波的模擬;固定激光能量值、脈沖寬度值不變,改變激光聚焦線元寬度的取值,獲得表面波信號的最大位移幅值及表面波信號的最大色散頻率隨線元寬度變化而變化的規律;綜合分析表面波信號的幅值和頻域隨線元寬度變化而變化的規律,確定優化的線元寬度值;固定聚焦的線元寬度為優化的線元寬度值,改變脈沖激光的脈沖寬度得到表面波最大色散頻率隨著脈沖寬度的變化規律,利用該規律確定出最優的激光脈沖寬度值。
聲明:
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