本發明公開了一種基于光學相干成像的鏡頭可靠性前后無損檢測方法與裝置。利用光學相干層析掃描裝置對可靠性測試前后的鏡頭進行掃描,獲取可靠性測試前后鏡頭的三維散射信號。根據三維散射信號的強度信息,識別鏡頭各鏡片的前后表面,計算出可靠性測試前后鏡頭的三維結構變化(微米量級)。根據可靠性測試前后鏡片位置處的相位變化,計算出可靠性測試前后鏡頭的三維結構變化(納米量級)。本發明具有無接觸、高精度、實時測量等優點,可以在短時間內測量出鏡頭內鏡片相對位置的納米精度的變化。
聲明:
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