本實用新型涉及一種無損檢測平面物品表面的裝置,其特征在于:激光器的光軸與被測物品的中心軸線呈0.01°~20°角度放置,在激光器的光軸上與被測物品之間設置顯微物鏡;在被測樣品反射光束的中心軸線上依次設置剪切角固定的光楔、凸透鏡和線陣CCD;線陣CCD固定于一維方向移動微位移平臺上,線陣CCD采集的圖像信號輸出至計算機,計算機的控制信號輸出至一維方向移動微位移平臺控制一維方向移動微位移平臺的移動。利用線陣CCD推掃方法,可以根據待測樣品表面設計相應的微位移平臺的移動軌道,沿所述移動軌道推掃得到的散斑圖消除了散斑像的離焦現象,從而有效提高了缺陷檢測的靈敏度。
聲明:
“無損檢測平面物品表面的裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)