本申請公開了一種射頻損耗的無損檢測系統,微波發射裝置包括依次設置的微波發射器、微波調制器以及微波聚焦器,微波發射器所射出的微波經過微波調制器和微波聚焦器照射至樣品臺上的待檢測樣品;探測波發射裝置包括依次設置的探測波發射器、探測波調制器以及探測波聚焦器,探測波發射器所射出的探測波經過探測波調制器和探測波聚焦器照射至待檢測樣品;探測波照射至所述待檢測樣品上所射出的光信號經由光接收裝置轉化為電學信號,測量裝置根據電學信號對待檢測樣品進行檢測。本申請中的檢測方式具有非接觸和無損的特點,避免對壓電薄膜材料進行加工成器件后再進行射頻損耗檢測的傳統破壞性檢驗,降低時間和經濟成本,提高研發生產效率。
聲明:
“射頻損耗的無損檢測系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)