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厚絕緣膜的工藝實現方法

990 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 08:56:51

本發明公開了一種厚絕緣膜的工藝實現方法，包括步驟：(1)在需要長絕緣介質膜的地方，先刻蝕槽；(2)在槽內，根據不同的槽寬，進行爐管氧化；(3)氧化后，成長填孔性較好的絕緣膜；(4)化學機械研磨，把表面的凸起磨平；(5)再把有源區的絕緣膜刻蝕掉，只留下厚的場氧絕緣膜。本發明通過改變刻蝕槽的形貌后，元包之間的二氧化硅絕緣膜在爐管里成長后，改變了應力的方向，測量后曲率半徑和進爐管長膜前的曲率半徑基本一致，解決了元包之間厚度大于2微米絕緣層的可行辦法。

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聲明：

“厚絕緣膜的工藝實現方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:141

2 取、制樣安全淺析

下載:133

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:110

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

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5 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:98

6 樣品變質引起采制樣和結算問題

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