本發明屬于傳感器技術領域,具體涉及一種雙活性電極氮氧化物傳感器芯片及其制備方法。本發明中的氮氧化物傳感器芯片結構簡單。在結構上省去了三個電化學氧泵、兩個腔室、一個參比空氣通道和三個引腳,極大地簡化了氮氧化物傳感器芯片的結構,制備過程簡單,省去了沖切、疊合和壓制的制備過程,使制備過程得到了較大的簡化;制備成本低,節省了沖切、疊合和壓制的制備過程的費用;節省了制備氧化鋯基片過程中花費的大量費用;測量效果好,且能夠測量氮氧化物的含量,在氧化鋁基片上同時集成了雙活性電極氮氧化物濃差電池能夠精確測量汽車尾氣中的氮氧化物含量;具有極大的經濟價值和市場前景。
聲明:
“雙活性電極氮氧化物傳感器芯片及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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