一種薄膜瞬時應力的計算方法,包括下述的步驟:在基底上進行薄膜沉積試驗,并實時測量基底曲率半徑R與沉積層厚度hf;根據下式計算第i時刻的薄膜瞬時應力σfi。本發明可適用于基底和薄膜不同彈性模量比及厚度比情況下的應力計算,在電沉積過程中可以準確顯示初始階段的應力變化,可精確得到整個厚度上每一個采樣點的瞬時應力,結果更準確,適用于電化學沉積、CVD氣相沉積、表面噴涂等領域的薄膜應力計算。
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