本發明屬于電子元器件技術領域,涉及基于MXene/SnO2異質結的無源無線氨氣氣體傳感器及制備方法。所述的無源無線氨氣氣體傳感器包括電感部分和無線諧振天線,無線諧振天線主要由氣敏材料和無線叉指電極組成,氣敏材料涂覆在叉指電極表面,涂覆厚度為1~100μm;氣敏材料為層狀MXene/SnO2異質結材料。本發明采用化學腐蝕法獲得一種層狀結構的MXene材料,采用水熱法得到MXene/SnO2異質結材料。本發明制備得到的是一種無源功耗低、無線易測量,響應/恢復時間快、易于與其他微電子器件集成等優點的無源無線氨氣氣體傳感器。
聲明:
“基于MXene/SnO2異質結的無源無線氨氣氣體傳感器及制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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