本發明公布了一種集成片上原位微型銀氯化銀參比電極以及其制備方法。該片上原位微型銀氯化銀參比電極包括:硅基襯底,在硅基襯底結構上生長的絕緣層,濺射的金屬種子層,電化學電鍍的銀層,以及腐蝕得到的氯化銀層,滴涂法得到的保護層涂層。本發明實現的片上原位微型銀氯化銀參比電極和傳統微機電加工工藝方法高度兼容。和商用的銀氯化銀參比的電極相比,具有高度集成化,微型化,應用場景多樣化等優勢。在生物監測和化學傳感領域,能夠廣泛應用于生物體內實時精準電位標定,并且植入后造成較小的植入損傷。該片上原位微型銀氯化銀參比電極在腦科學或生物活體監測方面具有廣泛的應用價值。
聲明:
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