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第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第六屆中國浮選大會
第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會
第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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?杭州微伽量子科技有限公司邀您參加“富礦精開科技創新研討會”！2024-08-05
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?2023中國礦物加工大會（CMPC）在北京隆重召開！2023-04-27
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冶金行業
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第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
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2025中國礦物加工大會（CMPC）
2025中國電解鋁大會
2025全國碳納米材料制備與應用技術交流會
第四屆全國難熔金屬及硬質合金技術研討會
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2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
第二屆有色金屬工業環境保護與減污降碳技術大會
2025工業廢水處理與資源化利用交流會
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物理檢測       化學分析       力學檢測       無損檢測       失效分析       環境檢測
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
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?蘇州英飛思科學儀器有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-30
?創想儀器 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
?長沙微譜科技有限公司 | 受邀參加第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會2023-06-16

其他行業
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最新會議

2025鉛鋅產業市場研討會
2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
2025第三屆全國金屬增材制造及注射成形技術與應用交流會
第十二屆中國鋁工業科學技術發展大會
2025有色金屬智能工廠大會

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現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
吸附劑的結構設計與性能調控
有機助磨劑強化低品位菱鎂礦分選行為及機理研究
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堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
鋁基復合材料晶內納米增強相的原位構筑及性能研究
仿向日葵多級微錐定向液滴調控及防冰應用
高熵能源材料
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基于催化界面工程的新污染物高效捕集與轉化技術
廢酸資源化處置利用概述
選擇性浸出—回收磷酸鐵鋰電池更有前景的方法

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碳酸鋰質檢及倉單生成流程
譜育科技在有色行業元素分析檢測中的系列產品及應用

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2025年電解鋁行業形勢分析
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圖形結構的制造方法

1194 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 08:17:28

本發明公開了一種圖形結構的制造方法，包括步驟：步驟一、涂布光刻膠；步驟二、進行灰度曝光和顯影形成光刻膠條形的具有高度逐漸變化的分布結構的光刻膠圖形結構；步驟三、進行刻蝕將各光刻膠條形的高度逐漸變化的分布結構轉移到各第一工藝層條形上；步驟四、形成第二工藝層；步驟五、進行化學機械研磨工藝形成由填充于溝槽中的第二工藝層和溝槽之間的第一工藝層條形組成第二圖形結構；各第一工藝層條形的高度逐漸變化的分布結構在化學機械研磨工藝中抵消化學機械研磨工藝所產生的侵蝕。本發明能減少化學機械研磨工藝對圖形結構產生磨損，使圖形結構對比清晰結構完整，圖形結構能為光刻標識，從而能提高對準精度和量測準確度，提高工藝可靠性。

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聲明：

“圖形結構的制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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化學分析

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報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:140

2 取、制樣安全淺析

下載:132

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:97

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:96

7 用于X熒光分析的樣品前處理及其

下載:93

8 礦產品人工取樣方案的制定及案例

下載:93

9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿

下載:91

10 制樣室裝修設計技巧

下載:89

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