本發明涉及一種光吸收層系統,其包括至少兩個層,其中一個層為由介電材料制成的面向觀測者的抗反射層,且其中至少一個其他層為由具有亞化學計量氧含量的氧化物或氮氧化物制成的背對所述觀測者的吸收層。所述層系統在380nm至780nm的波長范圍內具有大體上小于20%的可視透射Tv、小于6%的可視反射Rv和超過10k?Ohm的層電阻Rγ。
聲明:
“光吸收層系統、其生產及適用于其的濺射靶材” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)