本發明公開了一種制備微納米流體系統的方法。該方法,包括如下步驟:1)在基底上制備薄膜熱電偶陣列,得到薄膜熱電偶陣列層;2)在所述步驟1)制備得到的薄膜熱電偶陣列層上制備一層絕緣層a,并在所述絕緣層之上制備一層場調制層;3)在所述步驟2)制備得到的場調制層上制備一層絕緣層b,并將所述絕緣層b上制備一層微納米通道層,封裝后得到所述微納米流體系統。本發明制作的微納米流體測試系統帶有局域溫度測量與控制、可進行直流及高頻電磁測量。該系統功能多樣、結構緊湊且測試精度高,在物理、化學、生物等研究領域都有很好的應用前景。
聲明:
“微納米流體系統及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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