<p id="xhh1v"><del id="xhh1v"></del></p><listing id="xhh1v"></listing>

<var id="xhh1v"></var>
<output id="xhh1v"></output>

        <ins id="xhh1v"><cite id="xhh1v"></cite></ins>
          <output id="xhh1v"><del id="xhh1v"><big id="xhh1v"></big></del></output>

          <dfn id="xhh1v"><form id="xhh1v"><output id="xhh1v"></output></form></dfn>

            合肥金星智控科技股份有限公司
            宣傳

            位置:中冶有色 >

            有色技術頻道 >

            > 化學分析技術

            > 用于半導體晶圓的激光研磨工藝

            用于半導體晶圓的激光研磨工藝

            856   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 08:14:36
            本發明主要涉及一種用于半導體晶圓的激光研磨工藝,屬于晶圓研磨技術領域,包括以下步驟:步驟一,提供待研磨的半導體晶圓;步驟二,利用激光測量計測量晶圓幾何參數;步驟三,與晶圓目標幾何參數對比確定激光研磨加工余量;步驟四,設定激光研磨加工工藝參數并完成首次激光研磨加工;步驟五,再次測量晶圓幾何參數。步驟六,與晶圓目標幾何參數對比確定第二次激光研磨加工余量;步驟七,設定激光研磨加工工藝參數并完成第二次激光研磨加工;重復上述步驟,直至晶圓幾何參數滿足晶圓目標幾何參數要求。激光研磨代替傳統化學機械研磨,減少了環境污染,拓寬了一臺設備可研磨加工的晶圓尺寸;緩解了化學機械研磨精度控制方法淺顯,難以保證較高研磨精度的技術問題,優化了晶圓的化學機械研磨工藝,使得晶圓研磨精度的控制工藝更加準確、可靠。
            登錄解鎖全文
            聲明:
            “用于半導體晶圓的激光研磨工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
            我是此專利(論文)的發明人(作者)
            分享 0
                     
            舉報 0
            收藏 0
            反對 0
            點贊 0
            標簽:
            化學分析
            全國熱門有色金屬技術推薦
            展開更多 +

             

            中冶有色技術平臺

            最新更新技術

            報名參會
            更多+

            報告下載

            赤泥綜合利用研究報告2025
            推廣

            熱門技術
            更多+

            衡水宏運壓濾機有限公司
            宣傳
            環磨科技控股(集團)有限公司
            宣傳

            發布

            在線客服

            公眾號

            電話

            頂部
            咨詢電話:
            010-88793500-807
            專利人/作者信息登記
            久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码

            <p id="xhh1v"><del id="xhh1v"></del></p><listing id="xhh1v"></listing>

            <var id="xhh1v"></var>
            <output id="xhh1v"></output>

                  <ins id="xhh1v"><cite id="xhh1v"></cite></ins>
                    <output id="xhh1v"><del id="xhh1v"><big id="xhh1v"></big></del></output>

                    <dfn id="xhh1v"><form id="xhh1v"><output id="xhh1v"></output></form></dfn>