一種柔性基體薄膜鎳電阻傳感器,包括基片、附在基片上的電阻線、焊接盤,采用在耐高溫聚酰亞胺薄膜基片上,用真空蒸發NI膜的方法制得導電層后,再用電化學方法加厚NI膜,用光刻方法制成電阻器圖案,經過再次用電化學方法調整阻值、涂覆保護層、固化和老化處理、裝入相應金屬夾持框而成。具有響應速度快,價格低廉,制作方法簡單易行,解決了批量生產中保持器件性能一致且穩定可靠的問題,尤其適用于汽車進氣熱線式流量計和其他要求快速響應的熱電阻測試系統中。
聲明:
“柔性薄膜NI電阻傳感器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)