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第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
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第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會
第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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2025中國礦物加工大會（CMPC）
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物理檢測       化學分析       力學檢測       無損檢測       失效分析       環境檢測
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
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?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
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2025鉛鋅產業市場研討會
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現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
吸附劑的結構設計與性能調控
有機助磨劑強化低品位菱鎂礦分選行為及機理研究
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二次鋁灰機械活化堿浸除氮氟及制備冰晶石研究
濕法冶金和新能源行業氨氮廢水資源化技術及應用
推動行業革命的新型碳纖維復合材料泵
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堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
鋁基復合材料晶內納米增強相的原位構筑及性能研究
仿向日葵多級微錐定向液滴調控及防冰應用
高熵能源材料
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基于催化界面工程的新污染物高效捕集與轉化技術
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選擇性溶解分離法在原子光譜分析中的應用
熱分析和熱物性檢測技術在鋰電池行業的應用
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碳酸鋰質檢及倉單生成流程
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基板減薄方法、基板減薄設備及其操作方法

1129 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 08:14:35

本公開涉及一種基板減薄方法，包括：對基板進行磨削；當完成磨削后，利用能夠根據基板的厚度分布分區調節壓力的承載頭對基板進行化學機械拋光。其中，在完成磨削之后且在化學機械拋光之前，測量已完成磨削的基板的厚度分布，并且根據基板的厚度分布調整承載頭對基板的各分區的加載壓力；或者在化學機械拋光期間，在線測量基板的厚度分布，并且根據基板的厚度分布調整承載頭對基板的各分區的加載壓力。通過將磨削和化學機械拋光工藝相結合，提供了加工基板最為經濟有效的技術路線，而且通過根據基板厚度分布進行化學機械拋光，提高了基板的厚度均勻性，可為超高密度的半導體堆疊制程提供技術保障。本公開還涉及一種基板減薄設備及其操作方法。

登錄解鎖全文

聲明：

“基板減薄方法、基板減薄設備及其操作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

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報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:140

2 取、制樣安全淺析

下載:132

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:97

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:96

7 用于X熒光分析的樣品前處理及其

下載:93

8 礦產品人工取樣方案的制定及案例

下載:93

9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿

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10 制樣室裝修設計技巧

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