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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
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第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
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2025鉛鋅產業市場研討會
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現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
吸附劑的結構設計與性能調控
有機助磨劑強化低品位菱鎂礦分選行為及機理研究
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二次鋁灰機械活化堿浸除氮氟及制備冰晶石研究
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推動行業革命的新型碳纖維復合材料泵
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堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
鋁基復合材料晶內納米增強相的原位構筑及性能研究
仿向日葵多級微錐定向液滴調控及防冰應用
高熵能源材料
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基于催化界面工程的新污染物高效捕集與轉化技術
廢酸資源化處置利用概述
選擇性浸出—回收磷酸鐵鋰電池更有前景的方法

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選擇性溶解分離法在原子光譜分析中的應用
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鋰電材料金屬及磁性異物分析與過程控制
碳酸鋰質檢及倉單生成流程
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使用LPCVD工藝沉積薄膜的方法

916 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 08:13:38

本發明公開了一種使用低壓化學氣相沉積工藝沉積薄膜的方法,該方法包括:在穩定階段和沉積階段中,維持爐管的加熱器中的各個溫區的溫度不變,且各個溫區的溫度值按照各個溫區的位置從上到下的順序依次減小;在晶舟裝載階段、抽真空階段、檢漏階段、后清除階段、返壓階段和晶舟卸載階段中的至少一個階段中,調整爐管的加熱器中的各個溫區的溫度。通過使用本發明所提供的方法,可有效地減小在薄膜的形成過程中裝載在晶舟上的各個晶圓之間的熱預算差值,改善半導體元器件的電學性能,提高所生產的半導體元器件的良率,降低制造成本。

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聲明：

“使用LPCVD工藝沉積薄膜的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

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報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:140

2 取、制樣安全淺析

下載:132

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:97

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:96

7 用于X熒光分析的樣品前處理及其

下載:93

8 礦產品人工取樣方案的制定及案例

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9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿

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10 制樣室裝修設計技巧

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