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2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第六屆中國浮選大會
第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會
第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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?杭州微伽量子科技有限公司邀您參加“富礦精開科技創新研討會”！2024-08-05
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第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
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材料行業
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2025中國礦物加工大會（CMPC）
2025中國電解鋁大會
2025全國碳納米材料制備與應用技術交流會
第四屆全國難熔金屬及硬質合金技術研討會
第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會

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2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
第二屆有色金屬工業環境保護與減污降碳技術大會
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物理檢測       化學分析       力學檢測       無損檢測       失效分析       環境檢測
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
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?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
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最新會議

2025鉛鋅產業市場研討會
2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
2025第三屆全國金屬增材制造及注射成形技術與應用交流會
第十二屆中國鋁工業科學技術發展大會
2025有色金屬智能工廠大會

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現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
吸附劑的結構設計與性能調控
有機助磨劑強化低品位菱鎂礦分選行為及機理研究
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漿態床加氫設備外排油渣中鉬和釩的回收工藝研究
二次鋁灰機械活化堿浸除氮氟及制備冰晶石研究
濕法冶金和新能源行業氨氮廢水資源化技術及應用
推動行業革命的新型碳纖維復合材料泵
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堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
鋁基復合材料晶內納米增強相的原位構筑及性能研究
仿向日葵多級微錐定向液滴調控及防冰應用
高熵能源材料
普魯士藍類似物光生電荷傳輸機制及光催化析氫性能研究

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基于催化界面工程的新污染物高效捕集與轉化技術
廢酸資源化處置利用概述
選擇性浸出—回收磷酸鐵鋰電池更有前景的方法

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選擇性溶解分離法在原子光譜分析中的應用
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鋰電材料金屬及磁性異物分析與過程控制
碳酸鋰質檢及倉單生成流程
譜育科技在有色行業元素分析檢測中的系列產品及應用

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?化學吸收碳捕集和利用技術下載：109
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> 基于低溫共燒陶瓷的MEMS封裝方法

基于低溫共燒陶瓷的MEMS封裝方法

963 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 08:11:49

本發明公開了一種基于低溫共燒陶瓷的MEMS封裝方法,包括以下步驟:分別制作低溫共燒陶瓷上、下基板,在上基板和/或下基板中形成立體電互連網絡、內嵌式微流道和開放腔體;將元器件固定在上基板或下基板的預定位置,并進行電氣連接;然后將上、下基板對準封接,元器件被封裝在其中的腔體中,而微流道連通腔體和封裝體外部;在微流道通往封裝體外部的出口處連接外部微管,由外部微管實現腔體與外界的氣體或液體流通。該方法提高了MEMS封裝的集成度、穩定性和靈活性,不僅可以實現真空封裝,并可通過微流道輸運循環散熱介質實現腔體內器件的散熱,還可以通過微流道為封裝腔體內的醫學、生物或化學MEMS器件輸送檢測樣品等。

登錄解鎖全文

聲明：

“基于低溫共燒陶瓷的MEMS封裝方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:140

2 取、制樣安全淺析

下載:132

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:97

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:96

7 用于X熒光分析的樣品前處理及其

下載:93

8 礦產品人工取樣方案的制定及案例

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9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿

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10 制樣室裝修設計技巧

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