本發明提供一種修整圖形的方法、介質、服務器及光學掩模的制造方法,所述修整圖形的方法包括:利用化學機械拋光模型模擬晶圓的表面形貌,獲得形貌圖,所述形貌圖體現了晶圓表面的高低;對晶圓表面不符合預設高度的區域進行標記,獲得階高標記層信息;根據所述階高標記層信息建立對應的景深模型;利用所述景深模型對待修整的圖形進行光學鄰近校正處理。本發明所述的修正圖形的方法能夠檢測出晶圓表面的不平坦區域上的熱點問題,并且通過圖形校正優化修正該問題造成的不良影響,提高器件的良品率。
聲明:
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