微納結構的ZnO晶體材料由于其獨特的結構和性能,體現出了特殊的應用潛力,近年在電子器件、光電子器件、化學傳感、生物發電以及紫外檢測等領域取得了重要應用。本發明提供了一種在襯底上制備生長位置精確可控的ZnO納米/微米棒晶的方法。本發明首先在襯底上預修飾ZnO籽晶層,然后在襯底上制作圖形尺寸在2μm以下的光刻膠層做模板層,之后使用含有檸檬酸鈉和聚乙醇胺這兩種不同生長修飾劑的前軀體溶液合成ZnO微納棒晶,最終成功地在預修飾籽晶層的單晶、多晶或者無定形襯底上制備出了生長位置精確控制的ZnO納米/微米棒晶。本發明實現了ZnO微納晶體材料在襯底上的位置控制,是實現ZnO微納晶體材料的器件化產業應用的必要步驟。
聲明:
“在襯底上制備生長位置精確可控的ZnO納米/微米棒晶的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)