在用于化學分析的系統(10)中,包括一對隔開的并且被等離子體絕緣的電極(14,16)、電極(14,16)的射頻驅動的等離子體電離器件(11)被接到電源(22)上,其中電極(14,16)起諧振電路(22c)的電容器極板的作用,氣體(S)放電并形成陽離子和陰離子兩者的等離子體,而電壓是作為連續的交變波形或作為一系列脈沖(例如,分組波形)加上去的。
聲明:
“電容放電等離子體離子源” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)