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            硅片切割廢砂漿制造復合硅碳球的方法及其應用

            960   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 07:57:11
            本發明公開了一種硅片切割廢砂漿制造復合硅碳球的方法,首先將硅片切割時產生的廢砂漿進行回收,將聚乙二醇提取出來另用,剩余的含有碳化硅和硅粉的漿料制成濾餅,晾曬至水分小于10%后,破碎成粒度小于3mm的顆粒料,經化學分析確定其中的總硅含量后分類庫存待用;稱取粘合劑和潤濕劑,與顆粒料混合后制成粒徑小于50mm的坯料,入爐烘焙,待其水分小于2%時冷卻出爐,得到理化指標為:TSi=30~70%,Tc=10~25%,S≤0.1%,H2O≤2%的復合硅碳球成品。本發明制造工藝簡單,實現了硅片切割加工過程中產生的副產品-廢砂漿中所含資源的綜合利用,大大減少了環境污染,產生了較大的經濟效益和社會效益。
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