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VPD用金屬回收液及其配制方法

1042 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 07:55:19

本發明公開了一種VPD用金屬回收液及其配制方法。該金屬回收液中按質量百分比計的成分配比為：鹽酸0.4％、雙氧水3.5％-5％、余量的純水。其配制方法是：選擇原料鹽酸、雙氧水和純水，按照配比配制，回收液配制完成后要用ICP-MS進行金屬含量測試，標準是低于ICP-MS的檢測極限。本發明的金屬回收液對金屬的回收主要通過HCl和H2O2與硅片的化學反應來實現，HCL可以通過絡合反應將硅片表面的金屬直接吸收到溶液中，同時H2O2會將硅片表面產生輕微的氧化，氧化層中的金屬也被HCL收集到溶液中，相當于將硅片近表層的金屬同時收集，提高了測試的可信度。

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聲明：

“VPD用金屬回收液及其配制方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

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2 取、制樣安全淺析

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3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

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4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

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5 樣品變質引起采制樣和結算問題

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6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

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