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?2023中國礦物加工大會（CMPC）在北京隆重召開！2023-04-27
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2025中國礦物加工大會（CMPC）
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物理檢測       化學分析       力學檢測       無損檢測       失效分析       環境檢測
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
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最新會議

2025鉛鋅產業市場研討會
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現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
吸附劑的結構設計與性能調控
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二次鋁灰機械活化堿浸除氮氟及制備冰晶石研究
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堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
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仿向日葵多級微錐定向液滴調控及防冰應用
高熵能源材料
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基于催化界面工程的新污染物高效捕集與轉化技術
廢酸資源化處置利用概述
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研磨墊及半導體器件的制造方法

735 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 07:55:18

本發明提供一種研磨墊及使用了該研磨墊的半導體器件的制造方法。即使在使用堿性料漿或酸性料漿進行研磨的情況下，也可以在從使用開始直至使用結束的長時間內持續維持高精度的光學終點檢測。本發明的研磨墊被用于化學機械拋光中，具有研磨區域及透光區域，所述透光區域的浸漬于 pH11的KOH水溶液或pH4的 H2O2水溶液中24小時后的測定波長λ下的透光率 T1 (％)與浸漬前的測定波長λ 下的透光率T0 (％)的差ΔT(ΔT ＝T0－ T1)(％)，在測定波長400～ 700nm的全部范圍內在10(％)以內。

登錄解鎖全文

聲明：

“研磨墊及半導體器件的制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:140

2 取、制樣安全淺析

下載:132

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:97

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:96

7 用于X熒光分析的樣品前處理及其

下載:93

8 礦產品人工取樣方案的制定及案例

下載:93

9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿

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10 制樣室裝修設計技巧

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