本發明公開了一種超高靈敏度多巴胺生物傳感器及其制備方法,屬于生物傳感器領域,實現了對多巴胺的快速電化學響應,具有低至0.4pM的檢測限,優異選擇性,且工藝簡單、成本低廉,適合臨床診斷和生理功能檢測,特別是活體多巴胺靜態基礎值的測定。本發明的多巴胺生物傳感器包括從上至下依次為HfO2超薄膜、導電硅襯底、Al電極;采用與半導體工藝兼容的熱ALD或等離子體增強ALD在導電硅基底上低溫沉積HfO2超薄膜;再在硅襯底背面蒸鍍金屬鋁以形成良好的電學接觸,即獲得了多巴胺生物傳感器。
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