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            > 具有微觀有序納米結構SERS基底及制備方法

            具有微觀有序納米結構SERS基底及制備方法

            1038   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 07:45:49
            本發明涉及一種具有微觀有序納米結構SERS基底及制備方法,屬于光譜分析領域。包括基材,基材表面具有周期性排列的柱狀微納結構,柱狀微納結構包括由第一材料構成的第一層,由第二材料構成的第二層,基材及柱狀微納結構表面包覆由第三材料構成的第三層,第三層上沉積的金屬納米顆粒,基材由第一材料構成。在硅片上生成SiO2層,采用自組裝方式將聚苯乙烯膠體球附著在SiO2層上,通過退火或反應離子刻蝕對聚苯乙烯膠體球進行尺寸調控;通過金屬輔助化學刻蝕或干法刻蝕對SiO2介質層及對SiO2和Si混合納米結構進行刻蝕;在硅片上沉積金,通過電化學法沉積金納米顆粒。此基底靈敏度高、重復性好、成本低、適用于大規模生產。
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