本發明公開了一種高溫性能穩定的氧敏薄膜及 其制備方法。所述的氧敏薄膜, 是以α≤-Al2O3陶瓷薄片為基片, 其上形成化學組成為La1-xSrxNi1-yCoyO3化合物所構成, 其中0≤x≤0.2, 0≤y≤0.3。該氧敏薄膜采用ISG法制備而成, 即主要包括鹽溶液的配制, 溶液絡合溶膠化, 在基片涂覆制膜, 薄膜的熱處理及燒結過程。本發明氧敏薄膜, 高溫下性能穩定、靈敏性高??蓮V泛用做檢測汽車尾氣、窯爐排放煙氣傳感器上的氣敏元件?!?
聲明:
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