本發明涉及納米操作領域,具體地說是涉及一種實時反饋的納米電子器件自動化裝配制造方法,其采用閉環實時檢測裝配方法,通過信號發生器對微電極施加交直流疊加的驅動信號,其中交流信號作為驅動信號,直流偏置信號作為檢測信號;通過掃描直流偏置信號跳變實現實時反饋;本發明采用浮動電勢介電泳技術,基于閉環控制思想,解決了納電子器件有效裝配效率低、難于自動化、規?;b配的難題,具有不破壞納米管線本身物理、化學性質的特點,根據不同納米材料獨特的物理化學特性,可測出各種力的微小變化。
聲明:
“實時反饋的納米電子器件自動化裝配制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)