本發明屬于機械加工技術領域,尤其涉及一種石英諧振子超精密加工方法及裝置。首先采用普通成型方法加工出石英諧振子的外表面,然后使用專用砂輪進行粗磨、半精磨、化學機械拋光,結合先進的在線測量技術,對拋光后的表面進行檢測,對超出允差范圍的點位進行修拋至滿足要求;采用專用夾具固定加工好的外表面,再對諧振子內表面進行成型磨削化學機械拋光及檢測加工。本發明的專用夾具與砂輪的特點為中空傘狀,砂輪磨削部分與被加工面形狀一致,加工過程設防護裝置及拋光液回收裝置,可保證加工過程綠色環保,此外,本發明提供的加工方法和裝置,具有加工效率高,加工同軸度好,加工表面損傷層低等優點。
聲明:
“石英諧振子超精密加工方法及裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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