本發明是一種微機械往復膜片泵,特別是涉及生物化學微量分析用的微機械往復膜片泵。它采用壓電驅動器件作為動力源,使泵腔膜片產生振動,從而迫使泵腔往復地吸入、泵出流體;本發明采用慣性整流流道作為無運動件閥,使得沿一個方向的流動阻尼大于相反方向的流動阻尼;本發明采用慣性環行腔,進一步明顯增大兩個方向的阻尼差,有利于提高輸出泵壓,并減小由于輸出回流導致的流量輸出脈動。本發明具有結構簡單易實現、可以驅動含有較大顆粒流體、不破壞流體中的細胞或大分子、無死體積、相同體積液體流過泵腔的時間一致等優點。本發明適用于在截面尺寸為幾十、幾百微米的微流道中驅動微小體積流體。
聲明:
“微機械往復膜片泵” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)