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            > 有機銨金屬鹵化物薄膜的制備裝置及制備和表征方法

            有機銨金屬鹵化物薄膜的制備裝置及制備和表征方法

            1136   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 07:36:08
            本發明提供了一種有機銨金屬鹵化物薄膜的制備裝置及制備和表征方法,屬于鈣鈦礦材料領域,通過利用光照輔助化學氣相沉積方法在帶有金屬鹵化物的基底上結合異相反應擴散動力學和平衡反應熱力學雙重控制,成功制備出了由縱向貫穿的大晶粒構成的高質量的ABX3型鈣鈦礦薄膜,并進一步通過原子力顯微鏡、掃描電子顯微鏡和模擬太陽光下的電流?電壓(J?V)曲線等表征手段進行了表征分析。相對于現有技術,本發明公開的制備裝置及制備方法具有反應迅速、操作簡單、控制精確、可重復性高、可大面積制備、薄膜質量高等顯著優點。
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