本發明公開了一種液相原子力顯微鏡探頭。于它依次具有激光器及位置敏感元件(PSD)組成的光電檢測系統、XYZ壓電陶瓷、氣液隔離盤及微懸臂探針組成的掃描與反饋控制系統,以及由樣品、樣品座、液體池和升降臺組成的可升降液相單元。本發明液相原子力顯微鏡探頭結構簡潔,技術條件易于實現,廣泛適用于導體、半導體和絕緣體樣品,既可以在空氣中測量,又可以在液體甚至電化學環境下進行實時觀察和測量,可望在眾多科技與工業領域得到廣泛應用。
聲明:
“液相原子力顯微鏡探頭” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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